ulvac真空泵抽真空步骤？

1）关闭系统与外界相通的阀门（如充注阀，放空气阀等）， 打开系统内部所有连通的阀门。

（2）旋下排气阀的旁通孔螺塞，打开旁通孔道，并将真空泵接上。

（3）启动真空泵进行抽气，系统中的空气很难抽尽，为了达到 一定的真空度，抽真空要分数次进行，其间隔为10 min左右，以使 系统内的压力均衡。氨系统抽真空的剩余压力应小于7.9 kPa （60 mmHg）；氟利昂系统的剩余压力应小于1.3 kPa（10 mmHg）。

（4）真空度达标后，先关闭旁通孔道，再停真空泵，并拆下抽 气管，旋上排气阀旁通孔螺塞。

（5）抽真空后应保持24 h，系统内升压不超过670 Pa （5 mmHg）为合格。若压力上升较快，则应及时查明原因并加以 消除。

2、用本身的压缩机抽真空的操作方法及步骤

（1）关闭吸气阀、排气阀，旋下排气阀的旁通孔螺塞，装上排 气管，打开旁通孔道，以便排放空气。

（2）关闭系统中通大气的阀门（如充注阀、放空气阀等），打 开系统中其他所有阀门。

（3）系统的冷凝器若为水冷冷凝器，则应放尽冷凝器中的冷 却水，否则会因冷却水温低而使系统内的水分不易蒸发，难以被 抽尽。

（4）将油压控器和低压控器的接点强迫接通，启动压缩 机，待油压正常后慢慢打开吸气阀，能量调节装置放在最小一挡。 由于冷压缩机的排空阀通径较小，故开始时吸气阀不能开得很 大，能量调节装置也不能放在高挡。

随着系统内压力降低，可逐 渐开大吸气阀并逐步加载，增加吸气量。在抽气过程中，冷压 缩机的油压最低不得低于50 kPa。

（5）抽真空应采用间断抽空法，在压缩机连续抽气至听不到 气流声时，将排气管浸入冷冻机油杯中，观察管口冒泡情况。若 5 min内无气泡冒出，可认为系统内气体已基本抽完。若排气管 口长时间有气泡冒出，则说明压缩机本身或系统有泄漏，应检查 排除。

检查时，先关闭压缩机的吸气阀，检查压缩机本身是否泄 漏。若压缩机不漏，则盛油容器里就不出现气泡，同时也说明是 系统里有毛病；若压缩机有漏，气泡就会连续产生，这往往是轴封 不密合所造成的。

如果气泡开始时较大，然后逐渐变小，气泡出 现的间隔时间也越来越长，这说明轴封从不密合到逐渐密合。若 发现管端（插入面不深的情况下）有将冷冻机油反吸进吐出的 现象，将管端插到油内深处就看不出此现象，一般是阀片不密合 所致，经重负荷使用后会有好转。

（6）抽好真空后，先关闭排